Аппарат ультрафиолетового облучения: Аппарат ультрафиолетового облучения Катунь

Содержание

Аппарат ультрафиолетового облучения Катунь

 

 


                     Внимание ! Изменение в конструкции прибора, с Октября  2021 года, изменится тип лампы, держатель, компоненты запуска лампы. В облучатель устанавливается лампы ДКБу – 9 и импульсный источник питания (драйвер)


  


 Катунь в комплекте входит:

  • Транспортировочная упаковка,
  • Защитные очки,
  • Тубус с самым маленьким отверстием предназначен для уха или носа,
  • Тубус со средним по размеру отверстием предназначен для горла, 
  • Тубус большим косым срезом для миндалин для каждой стороны,
  • Биодозиметр тестер на переносимость ультрафиолета,
  • Облучатель с выдвижным экраном,
  • Инструкция.

Использование аппарата:

Включить прибор в сеть при помощи вилки, дать прогреться лампе в течении 1-2 минут, далее применять в соответствии с инструкцией. Соблюдать режим работы и отдыха.

НЕ ПРИ КАКИХ УСЛОВИЯХ не оставлять одних детей  наедине с прибором. 


Важно  ! Не использовать аппарат не ознакомившись с инструкцией !

Превышение допустимых доз облучения может привести к ожогам. 


                Аппарат ультрафиолетового облучения Катунь (тубусный кварц) обеспечивает световое излучение спектра электромагнитных колебаний в диапазоне 180-280 нм (КУФ-облучение – коротковолновое ультрафиолетовое облучение). КУФ-облучение применяют при острых и подострых воспалительных заболеваний кожи, носоглотки (слизистых носа, миндалин), наружного, среднего и внутреннего уха, ранах с опасностью присоединения анаэробной инфекции, туберкулезе кожи.

Основным лечебным эффектом КУФ-лучей являются: бактерицидный, микоцидный  (при облучении кожи и слизистых), иммуностимулирующий, катаболический и коагулокорригирующий (при облучении крови). 

 Показания к применению

Облучение ультрафиолетовым излучением аппарата Катунь может быть рекомендовано лицам, страдающим такими заболеваниями, как:

  • острые и подострые воспалительные заболевания кожи;
  • острые и подострые воспалительные заболевания носоглотки (ангина, ринит, гайморит,  и др.),  внутреннего уха;
  • раны с опасностью присоединения анаэробной инфекции;
  • туберкулез кожи;
  • трофические язвы и пролежни;
  • гнойничковые заболевания кожи (угри, фурункулез, псориаз, экзема и др.).

                Аппарат подходит для кварцевания помещения с целью уничтожения вирусов и бактерий в помещении, для бактерицидной профилактики помещения, в котором находятся маленькие дети и грудные младенцы.

                В облучателе Катунь производителем устанавливаются лампа ДКБу-9, ДКБ-9 также в аппарате может быть установлена лампа ДКБу-7, ДКБ-7 с соответствующим цоколем, продолжительность работы лампы на отказ составляет примерно 4000-6000 тыс часов. При отсутствии характерного запаха ультрафиолета или уменьшении излучении, неравномерности свечении лампу следует заменить. Смену лампы производить в перчатках, избегать касания голой рукой, протереть спиртовой салфеткой после установки в цоколь.

               Мы поставляем прибор во все крупные Медтехники России, спрашивайте аппарат в вашем городе.


Внимание! Присутствие людей под прямым светом  лампы  ДКБ – 9,  ДКБу – 9  не допускается!

Строго запрещается касаться пальцами лампы, может привести к выходу из строя. 

Смотреть на свет при открытой шторке только через защитные очки.

Запрещается присутствие животных, людей  и декоративных растений в облучаемой зоне.  


             Стоит ли покупать приборы с рук — бывшим в употреблении, однозначно — нет, рядовой потребитель не может на глаз определить степень износа лампы или эффективность светового потока, тем более установлена ли оригинальная лампа или более дешевый аналог сомнительного качества. Производитель постоянно работает над модернизацией прибора, применяя передовые технологии при производстве продукции.

 

Внутренний номер  ИЛКЮ.941549.002 РЭ    

Штрих код 4650054409098     

                        

Информация для оптовиков

 

В групповой упаковке 9 аппаратов

 

Габаритные размеры коробки: 490 мм х 310 мм х 360 мм

 

Общий вес: 11 кг

 

  Цена на прибор на главной страницы сайта 

 кварцевая лампа, облучатель кварцевый, облучатель ультрафиолета, облучатель катунь, лампа для обеззараживания,

лечить горло, лечить нос, облучать слизистые, ультрафиолетовый облучатель, лампа для детей, облучить нос при насморке, облучение помещения,
кварцевание помещения, облучить комнату,

цена с доставкой в каталоге интернет аптеки АлтайМаг

69 МАГов при покупке этого товара 👍

Подробнее о программе лояльности

Краткое описание

Характеристики

Аппарат ультрафиолетового облучения, кварцевание помещения, локально используется при острых и подострых воспалительных заболеваниях кожи, носоглотки, наружного, среднего и внутреннего уха, ранах с опасностью присоединения анаэробной инфекции, туберкулезе кожи. Комплектация: Аппарат ультрафиолетового облучения, очки защитные от УФ-излучений, тубус с выходным отверствием 5мм, тубус с выходным отверствием 10мм, тубус с выходным отверствием под углом 50, биодозиметр Горбачева.

Перейти к описанию

Все товары бренда Ротор

Низкая цена

Нашли дешевле?

2333 ₽

Есть в наличии

Купить в 1 клик

Уже купили 2 779 счастливых клиента

Ближайшая доставка в  

11 ноября 2022

Доставка от 300 ₽

Бесплатная доставка при заказе

от 2 990 ₽

2333 ₽

Есть в наличии

Купить в 1 клик

Аппарат катунь уфо ультрафиолетового облучения, кварцевание помещения, локально используется при острых и подострых воспалительных заболеваниях кожи, носоглотки, наружного, среднего и внутреннего уха, ранах с опасностью присоединения анаэробной инфекции, туберкулезе кожи. Комплектация: Аппарат ультрафиолетового облучения, очки защитные от УФ-излучений, тубус с выходным отверствием 5мм, тубус с выходным отверствием 10мм, тубус с выходным отверствием под углом 50, биодозиметр Горбачева.

Аппарат ультрафиолетового облучения «Катунь» обеспечивает световое излучение спектра электромагнитных колебаний в диапазоне 180-280 нм (КУФ-облучение – коротковолновое ультрафиолетовое облучение). КУФ-облучение применяют при острых и подострых воспалительных заболеваний кожи, носоглотки (слизистых носа, миндалин), наружного, среднего и внутреннего уха, ранах с опасностью присоединения анаэробной инфекции, туберкулезе кожи. Основным лечебным эффектом КУФ-лучей являются: бактерицидный, микоцидный  (при облучении кожи и слизистых), иммуностимулирующий, катаболический и коагулокорригирующий (при облучении крови).

Показания к применению Аппарат катунь уфо «ротор»:

Облучение ультрафиолетовым излучением аппарата «Катунь» может быть рекомендовано лицам, страдающим такими заболеваниями, как:

  • острые и подострые воспалительные заболевания кожи;
  • острые и подострые воспалительные заболевания носоглотки (ангина, ринит, гайморит,  и др.
    ),  внутреннего уха;
  • раны с опасностью присоединения анаэробной инфекции;
  • туберкулез кожи;
  • трофические язвы и пролежни;
  • гнойничковые заболевания кожи (угри, фурункулез, псориаз, экзема и др.).

Аппарат подходит для кварцевания помещения с целью уничтожения вирусов и бактерий в помещении, для бактерицидной профилактики помещения, в котором находятся маленькие дети и грудные младенцы.

Технические характеристики Аппарат катунь уфо «ротор»

Напряжение питания    220 ± 22 В, 50 ±0.5 Гц
Потребляемая мощность    не более 50 Вт
Режим работы    непрерывный в течении 30 минут с последующим перерывом не менее 15 мин
Класс электробезапосности    II , тип B (ГОСТ Р 502670-92)
Габаритные размеры    254×131×117 мм
Масса (без упаковки)    не более 1 кг (в комплекте)

Срок службы    8 лет
Эффективный диапазон излучений    180-275 нм
Стабилизация УФ излучения    происходит в течении 1 минуты после начала свечения УФ-лампы
Электромагнитная совместимость    облучатель соответствует ГОСТ Р 502670. 2-2005, ГОСТ Р 51318.15-99

Назначение

  • Ангина
  • Гайморит
  • Псориаз
  • Ринит
  • Туберкулез
  • Фурункулез
  • Экзема

Категории

  • Антипаразитарные средства
  • Бронхо-легочные заболевания
  • Вредные привычки
  • Заболевания волос
  • Заболевания кожи
  • Инфекционные заболевания
  • Неправильное питание и образ жизни
  • Нервная система заболевания
  • Простудные заболевания

Характеристики:

  • Страна производитель: Россия
  • Количество в коробке: 9
  • Произведено в Сибири: ✅
  • Товар на официальном сайте производителя: Смотреть
  • Вес товара: 1. 00 кг
  • Штрих-код: 4650054409098
  • Купите Аппарат катунь уфо «Ротор» (ультрафиолетового облучения) в Москве по доступной цене 2 333 ₽ с доставкой на дом или заберите Ваш заказ в Москве из ближайшего пункта выдачи, сделав заказ на AltaiMag.ru.
  • В карточке товара находится: описание, инструкция по применению, отзывы и сертификаты.
  • Ближайший к вам пункт выдачи заказов в городе Москва вы можете посмотреть здесь.
  • Чтобы купить Аппарат катунь уфо «Ротор» (ультрафиолетового облучения) совершите всего несколько шагов: укажите количество продукта и нажмите на кнопку «Купить».

Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления, внешнем виде и цвете товара носит справочный характер и основывается на последних доступных сведениях от производителя

Устройства УФ-облучения | CCS INC.

CCS предлагает индивидуальные решения для осветительных приборов, в которых используются УФ-светодиоды (ультрафиолетовые светодиоды), которые предназначены для удовлетворения различных требований к форме и использованию.
Для всего, от точечного отверждения до локального отверждения, мы предлагаем индивидуальную настройку, которая будет соответствовать потребностям наших клиентов.

  • Светильники с УФ-светом высокой мощности, способные к УФ-отверждению/ультрафиолетовому отверждению
  • Продукты, способные обеспечить поверхностное отверждение (облучение в широком диапазоне) УФ-освещение
  • Адаптация, отвечающая потребностям наших клиентов

Высокомощные ультрафиолетовые светодиодные светильники, способные к УФ-отверждению

Мы предлагаем высокоэффективные ультрафиолетовые осветительные приборы, способные к ультрафиолетовому отверждению для клея и т. д.
Клиенты могут выбирать между пиковой длиной волны 365нм/385нм. Что касается других длин волн, пожалуйста, уточняйте.

Пример линейного продукта

Пример площадного продукта

Новые решения от Area Cures (широкий диапазон)

Вы можете использовать площадные и линейные источники света для эффективного освещения больших площадей, которые трудно осветить с помощью точечных источников света.
Лечение области служит для сокращения человеко-часов, а также количества световых единиц.

Индивидуальные заказы

Основываясь на технологии, которую мы накопили, производя световые блоки для обработки изображений, мы можем предоставить УФ-светодиоды высокой мощности, отвечающие широкому спектру требований.
Чтобы удовлетворить эти требования, у нас есть стандартные линейные и зональные светильники, а также мы можем предоставить любые другие формы и форматы по индивидуальному заказу.

Диапазон, охватываемый УФ-светодиодами CCS

Луч с длиной волны от 100 до 400 нм представляет собой короткий луч ультрафиолетового света с чрезвычайно высокой энергией.
УФ-светодиоды CCS могут обеспечивать ультрафиолетовое излучение в диапазоне ультрафиолетовых лучей, известном как УФ-А.

Пожалуйста, свяжитесь с нами, если вам требуется настройка для длин волн, отличных от показанных здесь.

Пример настройки

Тип освещения площади Светодиодные светильники высокой мощности
Характеристики
  • Использование светильника зоны облучения высокой мощности обеспечивает групповое облучение, что значительно сокращает трудозатраты
  • Мы предлагаем решения для освещения помещений, соответствующие вашим требованиям
  • Благодаря адаптируемой конструкции, в которой используются характеристики светодиодов, этот продукт также может быть изготовлен по индивидуальному заказу
  • С помощью нашего запатентованного оптического моделирования мы можем предложить решения, которые обеспечат вам идеальное освещение
  • Благодаря полному использованию различных оптических технологий мы также предлагаем решения, способные обеспечить высокоэффективное облучение площади на большом расстоянии
  • Клиенты могут выбрать пиковую длину волны излучения света 365 нм или 385 нм

Осветительные приборы с высокой светоотдачей, которые можно использовать для замены существующих ламповых систем

Вентилятор с воздушным охлаждением

На основе нашей запатентованной оптической технологии мы можем предложить идеальное решение, которое соответствует желаемому расстоянию облучения на небольшом расстоянии. к дальнему облучению.

Пример изготовления 1: Светильник для освещения площади φ221 мм

Длина волны: 365нм (385нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: φ221 мм
Потребляемая мощность: 402 Вт
Эталонное излучение: 100 мВт/см² ꞊ для LWD40 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 40 мм

Внешние размеры (мм)

Пример изготовления 2: Светильник для освещения площади φ115 мм

2

Длина волны: 365нм (385нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: φ155 мм
Потребляемая мощность: 384 Вт
Эталонное излучение: 150 мВт/см² ꞊ для LWD5 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 5 мм

Внешние размеры (мм)

Тип водяного охлаждения

Обеспечивает высокое выходное облучение площади, способное к УФ-облучению на большой площади, чего трудно достичь с помощью осветительных приборов с точечным облучением.
Поскольку он дает свет, не содержащий тепловых лучей (инфракрасных лучей), в отличие от обычных ламп, он идеально подходит для облучения сред, слабых для нагревания.
Полностью используя наши запатентованные оптические симуляции, мы можем предоставить безграничные настройки.

Пример изготовления 1: Светильник для освещения площади 196×16 мм

Длина волны: 385нм (365нм)
Охлаждение: Водяное охлаждение
Размер поверхности облучения: 196×16 мм
Потребляемая мощность: 570 Вт
Эталонное излучение: 1800 мВт/см² = для LWD10 мм

Распределение относительной освещенности LWD:4 мм

Внешние размеры (мм)

Пример изготовления 1: Светильник для освещения площади 180×70 мм
Длина волны: 365нм (385нм)
Охлаждение: Водяное охлаждение
Размер поверхности облучения: 180×70 мм
Потребляемая мощность: 595 Вт
Эталонное излучение: 400 мВт/см² = для LWD5 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 5 мм

Внешние размеры (мм)

См. более подробную информацию о типе излучения по площади Светодиодные светильники высокой мощностиclose

Тип линейного облучения Светодиодные светильники с высокой светоотдачей
Характеристики
  • Используя светильник с линейным облучением с высокой светоотдачей, он обеспечивает пакетное облучение, что значительно сокращает трудозатраты
  • Мы можем выполнить индивидуальные заказы, чтобы предоставить вам желаемую длину облучения и ширину облучения
  • Способны обеспечивать ультрафиолетовое облучение с высокой равномерностью, чего трудно добиться при использовании светильников точечного облучения
  • Основанный на наших запатентованных оптических технологиях, этот продукт также можно использовать для облучения на расстоянии
  • Клиенты могут выбрать пиковую длину волны излучения света 365 нм или 385 нм

На основе нашей запатентованной конструкции линз Наши светильники для облучения линейного типа способны использовать высокую мощность

Длинный тип

Мы предлагаем светильники для линейного типа, которые идеально подходят для замены УФ-ламп, необходимых для крупномасштабных систем.
Обладая компактной и простой конфигурацией оборудования, эти светильники отличаются отличной ремонтопригодностью и помогают значительно сократить трудозатраты.
Мы предлагаем гибкие решения, которые могут соответствовать желаемому диапазону облучения.

Пример изготовления 1: Светильник линейного излучения 1800 мм

Длина волны: 385 нм (365 нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: 1800 мм
Потребляемая мощность: 707Вт
Эталонное излучение: 700 мВт/см² ꞊ для LWD10 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 10 мм

Внешние размеры (мм)

Пример изготовления 2: Светильник линейного излучения 1556 мм

Длина волны: 385 нм (365 нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: 1556 мм
Потребляемая мощность: 2013 Вт
Эталонное излучение: 500 мВт/см² ꞊ для LWD10 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 10 мм

Внешние размеры (мм)

Тип высокой мощности

Мы предлагаем линейные светильники высокой мощности, которые можно использовать для широкого спектра применений.
По сравнению с точечным отверждением линейное облучение является более эффективным, и такие продукты можно использовать для уменьшения количества установленных осветительных приборов, а также сокращения трудозатрат, что в значительной степени способствует снижению затрат.

Пример изготовления 1: Светильник линейного излучения 400 мм

Длина волны: 385 нм (365 нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: 400 мм
Потребляемая мощность: 487 Вт
Эталонное излучение: 2900 мВт/см² ꞊ для LWD10 мм

Распределение относительной освещенности LWD:10 мм

Внешние размеры (мм)

Пример изготовления 2: 104-мм линейный светильник

2

Длина волны: 365 нм (385 нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: 104 мм
Потребляемая мощность: 42 Вт
Эталонное излучение: 480 мВт/см² ꞊ для LWD10 мм

Распределение относительной освещенности LWD: 10 мм

Внешние размеры (мм)

Пример изготовления 3: Светильник линейного излучения 255 мм

Длина волны: 365 нм (385 нм)
Охлаждение: Вентилятор принудительного воздушного охлаждения
Размер поверхности облучения: 255 мм
Потребляемая мощность: 403 Вт
Эталонное излучение: 1200 мВт/см² = для LWD10 мм

Распределение относительного излучения LWD: 10 мм

Внешние размеры (мм)

Подробнее о линейном типе излучения Светодиодные светильники высокой мощностиclose

Точечные светодиодные осветительные приборы высокой мощности
Характеристики
  • Эта модель отличается простой конструкцией, которая обеспечивает только основные функции
  • Благодаря полному использованию наших запатентованных оптических технологий он был разработан для достижения высокой мощности излучения
  • Клиенты могут выбрать пиковую длину волны излучения света 365 нм или 385 нм

Мы предлагаем светильники с точечным излучением высокой мощности, которые идеально подходят для упрощенного освещения.
Полностью используя наши оптические технологии, мы можем предложить множество решений, отвечающих вашим конкретным требованиям, от облучения на короткие расстояния до облучения на большие расстояния.

Пример изготовления 1: HLV-24UV365-4WNRBT

Длина волны: 365 нм (385 нм)
Охлаждение: Естественное воздушное охлаждение
Размер поверхности облучения: Ø10 мм
Эталонное излучение: 820 мВт/см² ꞊ для LWD5 мм

Внешние размеры (мм)
Пример изготовления 2: HLV-24UV365-4WPCLTL

Длина волны: 365 нм (385 нм)
Охлаждение: Естественное воздушное охлаждение
Размер поверхности облучения: Ø10 мм
Эталонное излучение: 3000 мВт/см² ꞊ для LWD10 мм

Внешние размеры (мм)

См. более подробную информацию о высокоэффективных светодиодных светильниках с точечным излучениемclose

Специализированные блоки питания для УФ-светодиодов
Характеристики
  • Маленькие и компактные, эти устройства занимают очень мало места при установке
  • Имея 64-шаговый цифровой дисплей, они обеспечивают воспроизводимость значений диммирования
  • Возможность использования внешнего сигнала для управления включением/выключением/управлением диммированием по заказу мс
  • Оснащен функцией обнаружения перегорания светодиодов
Внешние размеры (мм)

..
Метод освещения Постоянное освещение (система постоянного тока)
Количество каналов 1 канал
Диммирующий выключатель Задний переключатель РУЧНОЙ/ДИСТАНЦИОННЫЙ
Затемнение Внутренний: Регулятор громкости на панели (64 шага)
Внешний: Параллельный 6 бит (64 шага)
Возможно переключение между внутренним/внешним затемнением с помощью заднего бокового переключателя
Диапазон диммирования 25% тип. до 100 % как для внутреннего, так и для внешнего освещения (загорается, даже если затемнение установлено на МИН.)
Управление освещением Внутренний: переключатель ВКЛ/ВЫКЛ на стороне панели
Внешний: Параллельный 1 бит
Входное напряжение (номинальное) 100–240 В переменного тока
Частота 50/60 Гц
Отображение времени счетчика/диммирования 5-разрядный 7-сегментный индикатор зеленого цвета
Отображение общего времени облучения (от 00000 до 99999 часов), отображение значения затемнения (от 1 до 64)
Переключение дисплея с помощью кнопки переключения на передней панели
Счетчик времени можно сбросить, нажав и удерживая переключатель ВКЛ/ВЫКЛ, громкость и кнопку в комбинации
Дисплей обнаружения ошибок При обнаружении перегорания (короткое замыкание/обрыв)
При обнаружении ошибки (вентилятор выключен, ненормальная цветовая температура, отсоединен разъем)
Вход внешнего регулятора яркости 6-битный вход оптрона, электрическая мощность 16 В или выше: активен,
Электрическая мощность при 7 В или ниже: InActive (максимальное входное напряжение до 26,4 В)
Время отклика диммирования 10 мс или меньше
Вход управления освещением Вход оптрона, электрическая мощность 16 В или выше: активен,
Электрическая мощность при 7 В или ниже: InActive (максимальное входное напряжение до 26,4 В)
Время отклика ВКЛ/ВЫКЛ или 10 мс или меньше
Маркировка CE Соответствует стандарту безопасности EN61010-1
Соответствует стандарту ЭМС EN61326, класс A
Экологические нормы Соответствует RoHS
Вес 5500 г или меньше

Подробнее о специальных источниках питания для УФ-светодиодовclose

Прожекторная УФ-светодиодная установка

Источники света на ртутных лампах сверхвысокого давления

Основываясь на ноу-хау и навыках, которые мы накопили с момента основания, CCS сочетает в себе различные элементы, такие как длина волны света, расстояние и угол освещения, чтобы обеспечить «световое решение», идеально подходящее для вас.

  • Запрос на тестирование
  • Запрос на бесплатную пробную версию продукта
  • Запрос цен/предложений
  • Запрос продукта
  • Каталог продукции Запрос

Поддержка

Устройство для ультрафиолетового облучения — LINTEC CORPORATION

Настоящее изобретение относится к устройству для ультрафиолетового облучения и, в частности, к устройству для ультрафиолетового облучения с использованием светоизлучающего диода.

В устройстве для обработки полупроводниковой пластины (далее именуемой просто «пластина»), например, заданные процессы выполняются в состоянии, когда на поверхность схемы пластины наклеена защитная лента. В этой защитной ленте используется смола, отверждаемая ультрафиолетовым излучением, в качестве адгезивного слоя, и ее адгезионная сила ослабляется за счет отверждения смолы, отверждаемой ультрафиолетовым излучением, с помощью устройства для ультрафиолетового облучения, что позволяет легко отклеивать защитную ленту.

Известен аппарат для ультрафиолетового облучения, устроенный таким образом, что, например, корпус лампы расположен в положении, обращенном к лицевой стороне пластины, а в корпусе лампы ртутные лампы высокого давления, металлогалогенные лампы или подобные расположены (см. патентный документ 1)

[патентный документ 1] выложенная японская патентная заявка № 9-162141

Однако устройство ультрафиолетового облучения, раскрытое в патентном документе 1, имеет такое устройство, ртутные лампы давления используются в качестве источника света, для которого требуется высоковольтный трансформатор. В результате устройство имеет такие недостатки, как большие размеры и потребление большого количества энергии. В дополнение к тому факту, что из-за короткого срока службы ламп требуются частые работы по техническому обслуживанию, так называемое время приработки для соблюдения условий ультрафиолетового облучения является длительным, и, таким образом, лампы принудительно поддерживаются включенными в течение рабочего дня, что приводит к большое количество потребляемой мощности. Кроме того, эффективный контроль облучения не может быть выполнен в соответствии с плоской областью облучаемого объекта, и, следовательно, неизбежна потеря мощности, а также, поскольку в лампе используется ртуть, в случае возникновения экологических проблем может возникнуть утилизации.

Соответственно, автор настоящего изобретения попытался разработать устройство для ультрафиолетового облучения, использующее ультрафиолетовый светоизлучающий диод в качестве светоизлучающего источника ультрафиолетовых лучей. Для устройства на стадии исследований и разработок, как показано на фиг. 10 и 11, было принято такое расположение, при котором многие светоизлучающие диоды 51 были расположены на равном расстоянии друг от друга вдоль по существу решетчатой ​​дорожки на подложке 50 , с другой стороны, защитный лист S обеспечивал с клеевым слоем 53 , изготовленный из смолы, отверждаемой ультрафиолетовым облучением, был расположен на поверхности пластины W, обращенной к диодам 51 , и защитный лист S, и диоды 51 имели относительное перемещение в направлении стрелки B в ИНЖИР. 10, в то время как ультрафиолетовые лучи облучали защитный лист S от светоизлучающих диодов 51 . Было обнаружено, что при отслаивании защитного листа S после ультрафиолетового облучения область А, где происходило отверждение клеевого слоя 53 не был выполнен в достаточной степени, появился линейно вдоль направления, перпендикулярного плоскости листа на фиг. 11, что предотвратило отслаивание защитного листа S.

Было обнаружено, что это произошло потому, что, как показано на фиг. 11, светоизлучающие диоды 51 были расположены так, чтобы осуществлять ультрафиолетовое облучение защитного листа S на очень близком расстоянии от него, и не было светоизлучающих диодов 51 , излучающих ультрафиолетовое излучение в область А дополнительным образом из-за расстояние и угол направления ультрафиолетовых лучей.

В этом случае можно сделать достаточно большим расстояние между светоизлучающими диодами 51 и защитным листом S. Однако такое большое расстояние вызывает затухание ультрафиолета, что порождает еще одну проблему, состоящую в том, что клеевой слой не может быть отвержден должным образом.

Настоящее изобретение было предложено ввиду вышеупомянутых недостатков и благодаря признанию, полученному в различных экспериментах, проведенных для решения проблем, возникающих при использовании ультрафиолетовых светоизлучающих диодов. Целью настоящего изобретения является создание устройства для ультрафиолетового облучения, в котором можно добиться значительного уменьшения габаритов, простоты обслуживания и осмотра, а также работоспособности ультрафиолетового облучения и энергосбережения.

Для достижения цели устройство для ультрафиолетового облучения по настоящему изобретению устроено таким образом, что множество ультрафиолетовых светоизлучающих диодов расположено в положении, обращенном к объекту, подлежащему облучению, а также к объекту и светоизлучающие диоды выполнены с возможностью перемещения относительно друг друга, при этом светоизлучающие диоды расположены на равном расстоянии друг от друга по прямым линиям множества рядов, по существу перпендикулярным относительному направлению движения, и между соседними светоизлучающими диодами в каждой строки позиционируется часть светодиода в соседней строке.

Настоящее изобретение предпочтительно может быть выполнено таким образом, чтобы светоизлучающие диоды были съемными на подложке.

Настоящее изобретение также может быть выполнено таким образом, что несколько светодиодов объединены в один блок, и каждый блок из нескольких светодиодов является съемным на подложке.

Кроме того, светоизлучающие диоды могут быть расположены таким образом, чтобы их светоизлучающие области можно было контролировать в соответствии с плоской областью объекта.

Настоящее изобретение предпочтительно выполнено таким образом, что датчики освещенности расположены на столе, поддерживающем объект, с заданным размахом вдоль направления, по существу перпендикулярного направлению относительного движения.

Кроме того, несколько светоизлучающих диодов могут быть объединены в один блок, и может быть предусмотрено, что характеристики излучения каждого блока или каждого светоизлучающего диода могут определяться по величине тока и/или напряжения.

В соответствии с настоящим изобретением в качестве источника света для ультрафиолетового облучения принят светоизлучающий диод, что позволяет исключить такое крупногабаритное устройство, как трансформатор, в обычном случае применения ртутных ламп, что позволяет уменьшение размеров аппарата. А благодаря принятию такого расположения, когда часть каждого из светодиодов в ряду расположена между соседними светодиодами в другом ряду, появление областей без излучения, которые имеют тенденцию образовываться при использовании можно избежать светодиодов, расположенных близко к объекту. Светоизлучающие диоды являются съемными на подложке, таким образом, замена только части светоизлучающих диодов может облегчить работы по техническому обслуживанию, так что стоимость работ по техническому обслуживанию может быть сведена к минимуму. Кроме того, можно управлять светоизлучающими областями, за счет чего снижается потребляемая мощность, и в то же время можно гарантировать срок службы светоизлучающего диода в течение длительного времени. Кроме того, поскольку светодиод не требует времени на приработку в отличие от ртутной лампы высокого давления, светодиод может включаться непосредственно перед началом облучения, а источник питания может быть выключен. когда облучение заканчивается, так что можно сэкономить большое количество энергии по сравнению со случаем ртутной лампы, которую необходимо постоянно держать включенной. Предоставление датчика облучения позволяет надежно оценить эффективность светодиода, тем самым избегая недостаточного ультрафиолетового облучения. Кроме того, поскольку неисправности светодиода можно обнаружить, контролируя величину тока и напряжения светодиода с помощью амперметра и/или вольтметра, можно предотвратить дефекты облучения ультрафиолетовыми лучами.

РИС. 1 представляет собой схематический вид устройства для ультрафиолетового облучения в предпочтительном варианте осуществления;

РИС. 2 представляет собой схематический вид сверху, показывающий пример расположения светоизлучающих диодов;

РИС. 3 представляет собой схематический вид спереди, показывающий области ультрафиолетового облучения;

РИС. 4 представляет собой схематический вид сверху, показывающий состояние, в котором начальные области излучения светоизлучающих диодов управляются;

РИС. 5 представляет собой схематический вид сверху, показывающий состояние, в котором свет излучается целыми областями светоизлучающих диодов;

РИС. 6 представляет собой схематический вид сверху, показывающий состояние, в котором светоизлучающие диоды управляются в соответствии с плоской областью объекта, подлежащего облучению;

РИС. 7 представляет собой схематический вид спереди, показывающий устройство, в котором светоизлучающие диоды являются съемными на подложке;

РИС. 8 — вид схемы для измерения тока в каждом блоке, определяющем множество светоизлучающих диодов как один блок;

РИС. 9 — вид схемы для измерения напряжения в каждом блоке, определяющем множество светоизлучающих диодов как один блок;

РИС. 10 представляет собой схематический вид спереди в случае, когда светоизлучающие диоды расположены параллельно, продольно и сбоку; и

РИС. 11 представляет собой схематический вид спереди для объяснения проблем, связанных с расположением светоизлучающих диодов, показанным на фиг. 10.

10 : прибор для ультрафиолетового облучения

11 : опорная часть пластины

12 : часть для ультрафиолетового облучения

7 7 7 9 датчик освещения

4

21 : светоизлучающий диод

w: полупроводниковая пластина (облучаемый объект)

Далее будет описан вариант осуществления настоящего изобретения со ссылкой на чертежи.

РИС. 1 представляет собой схематический вид спереди, относящийся к предпочтительному варианту осуществления, в котором устройство для ультрафиолетового облучения по настоящему изобретению применяется к устройству для обработки пластин. На рисунке устройство ультрафиолетового облучения 10 снабжено опорной частью 9 для пластин.0786 11 поглощающая и поддерживающая пластину как объект облучения, часть 12 для ультрафиолетового облучения, расположенная по существу параллельно пластине W над опорной частью пластины 11 , и камеру 13 , окружающую опорную часть пластины 11 и часть ультрафиолетового излучения 12 .

Опорная часть пластины 11 снабжена направляющей 15 , проходящей в правом и левом направлениях на РИС. 1, таблица 16 с возможностью перемещения вдоль направляющей 15 , при этом плоская форма стола 16 выполнена по существу квадратной, а множество датчиков освещенности 17 расположены с одинаковыми интервалами друг от друга вдоль направления, перпендикулярного плоскости в ИНЖИР. 1. Стол 16 устроен таким образом, что его верхняя поверхность определяется как впитывающая поверхность, а положение пластины W фиксируется как впитывающая пластина W на впитывающей поверхности. Защитный лист S наклеен на верхнюю сторону (лицевую сторону схемы) пластины W. Слой клея 18 типа, отвержденного ультрафиолетовым излучением, расположен на нижней стороне защитного листа S. Защитный лист Scan можно просто отделить от пластины W в последующем процессе путем отверждения клеевого слоя 18 .

Деталь ультрафиолетового излучения 12 , как показано на РИС. 2, снабженный подложкой 20 , плоская форма которой выполнена в основном квадратной, и множеством диодов 9, излучающих ультрафиолетовый свет.0786 21 , расположенный на нижней поверхности подложки 20 на ФИГ. 1. Деталь 12 для ультрафиолетового облучения выполнена с возможностью перемещения относительно поверхности пластины W внутри плоской поверхности. Светоизлучающие диоды , 21, расположены на равном расстоянии друг от друга на прямых линиях множества по существу параллельных рядов друг с другом вдоль относительных направлений движения (верхнее и нижнее направления на фиг. 2) и между соседними светодиоды 21 в каждом ряду позиционируется часть светодиода 21 соседнего ряда. Более подробное описание будет дано ниже. То есть каждый светоизлучающий диод 21 имеет по существу квадратную форму, если смотреть в плоскости, и часть 21 A, излучающая ультрафиолетовый свет, расположена в центральной части. Светодиоды 21 расположены таким образом, что углы С светодиодов расположены на первых строках L 1 , соответствующие боковым рядам от ряда № 1 до ряда № 8, проходящие вдоль направления, практически перпендикулярного направлениям относительного движения, и на вторых линиях L 2 , соответствующие продольным рядам от ряда № 1 до ряда № 14, проходящей в направлении, по существу перпендикулярном первым линиям L 1 в той же плоскости (направление движения пластины). Интервалы между каждой из первых строк L 1 устанавливаются по существу равными, а интервалы между каждой из вторых строк L 2 также практически равны. В примере на фиг. 2, например, между светодиодами 21 в боковом ряду № 1 располагается часть или верхняя половина светодиода в боковом ряду № 2 и таким же образом в дальнейшем , верхняя половина каждого из светодиодов в боковом ряду № 3 расположена между соседними светодиодами в боковом ряду № 2. Описанное выше соотношение расположения диодов такое же, как и в случае продольных рядов. Обратите внимание, что количество продольных и боковых рядов на фиг. 2 показан для удобства, и количество этих строк увеличивается или уменьшается при необходимости.

В приведенном выше расположении, когда относительное направление движения между опорной частью пластины 11 и частью ультрафиолетового излучения 12 совпадает либо с одной из линий L 1 или L 2 , либо находится в близком положении при этом можно исключить необлученные участки ультрафиолетового облучения.

Обратите внимание, что такое расположение принято, что светоизлучающий диод 21 оценивается с точки зрения его освещенности датчиком освещенности 17 в каждый момент ультрафиолетового облучения пластины. Благодаря этому, при обнаружении понижения освещенности, повышают напряжение для каждого отдельного диода или для каждого блока, состоящего из множества светодиодов, чтобы можно было обеспечить требуемую освещенность (в данном случае верхний предел необходимо настроить напряжение). Когда обнаруживается, что освещение является недостаточным, несмотря на то, что напряжение достигает верхнего предела, каждый отдельный диод или каждый блок, содержащий множество светоизлучающих диодов, может быть заменен, таким образом, может регулярно достигаться стабилизированная производительность ультрафиолетового облучения.

В соответствии с предпочтительным вариантом осуществления на защитном листе S не образуются области, на которые не облучаются ультрафиолетовые лучи, так что клейкий слой 18 может быть полностью отвержден на всех участках, что приводит к отслаиванию защитного листа S в последующий процесс может быть безопасно выполнен.

Как уже было сказано, наилучшая схема и способ осуществления настоящего изобретения раскрыты в приведенном выше описании, но настоящее изобретение этим не ограничивается.

То есть настоящее изобретение проиллюстрировано и объяснено, в частности, в отношении конкретного предпочтительного варианта осуществления, но специалистам в данной области техники очевидно, что возможны различные модификации форм, положений, расположения и т.п. описанного предпочтительного варианта осуществления. выполненный в рамках технической концепции и объекта настоящего изобретения.

Например, как показано на РИС. 4, синхронизация светоизлучающих диодов 21 может управляться индивидуально таким образом, что ультрафиолетовое облучение выполняется последовательно в соответствии с синхронизацией, когда пластина W проходит под частью 9 ультрафиолетового облучения.0786 12 . Это управление может быть выполнено путем предварительного ввода адресных данных каждого светодиода 21 или каждого блока и относительной скорости движения в контроллер (не показан). В примере на фиг. 4 включены светодиоды в областях перекрытия пластины W сразу под светодиодами 21 , а также группы светодиодов 21 или группы блоков в верхней и нижней стороны выключены. Соответственно, когда пластина W продвигается из положения, показанного на фиг. 4 в положение на фиг. 5 включаются светодиоды во всех областях, и по мере дальнейшего продвижения пластины W области вне зоны постепенно расширяются.

Как показано на фиг. 6, в случае, когда размер пластины W меньше по сравнению с площадью области, расположенной светодиодами 21 , можно проводить ультрафиолетовое облучение, не используя светодиоды 21 в областях практически не участвует в облучении.

Далее, как показано на РИС. 7, если светоизлучающие диоды 21 закреплены съемным образом на подложке 20 , когда часть светоизлучающих диодов вышла из строя по какой-либо причине, работа по замене соответствующей части может быть выполнена в чрезвычайно простой способ. Поскольку нет необходимости заменять все светодиоды, затраты на техническое обслуживание могут быть сведены к минимуму. Несколько светоизлучающих диодов могут быть расположены так, чтобы образовывать один блок, заменяемый блок за блоком.